इनविज़िक्सएएसएमएल के पूर्व छात्रों द्वारा स्थापित सेमीकंडक्टर मेट्रोलॉजी कंपनी ने €20 मिलियन का ओवरसब्सक्राइब्ड सीड राउंड जुटाया है।
निवेशकों में हिताची वेंचर्स, ट्रांज़िशन वेंचर्स, imec.xpand, Doosan इन्वेस्टमेंट और एक टियर-1 सेमीकंडक्टर निर्माता शामिल हैं।
फंडिंग का उपयोग इनविज़िक्स टीम को विकसित करने, इसके पहले शिपेबल सिस्टम के विकास में तेजी लाने और आइंडहोवन में एक नए स्वच्छ कमरे में ग्राहक प्रदर्शनों का समर्थन करने के लिए किया जाएगा।
अगली परत जोड़ने से पहले, चिप निर्माताओं को यह जानना होगा कि पिछली परत सही ढंग से मुद्रित हुई है या नहीं। फिर भी जैसे-जैसे उन्नत तर्क और मेमोरी उपकरण छोटे और अधिक जटिल होते जाते हैं, ऑप्टिकल उपकरण अब उन आंतरिक संरचनाओं को हल नहीं कर सकते हैं जो सबसे अधिक मायने रखती हैं।
ये उपकरण उच्च-प्रदर्शन कंप्यूटिंग की रीढ़ हैं और एआई के वादे को रेखांकित करते हैं। उन्हें मापने की क्षमता के बिना, निर्माताओं को धीमे, महंगे, अक्सर विनाशकारी विकल्पों के लिए मजबूर किया जाता है।
ऐसे बाजार में जहां मामूली उपज में सुधार से भी अरबों का राजस्व प्राप्त किया जा सकता है और प्रतिस्पर्धियों से आगे उत्पादन में नए नोड लाकर प्रभुत्व जीता जाता है, वहां यह अंतर महत्वपूर्ण है।
एएसएमएल के पूर्व छात्र सीईओ द्वारा स्थापित क्रिस्टीना पोर्टर और सीटीओ सिएत्से वान डेर पोस्टइनविज़िक्स इसे एक नरम एक्स-रे मेट्रोलॉजी प्रणाली के साथ हल करता है जिसे चिप निर्माताओं को पैमाने पर सबसे चुनौतीपूर्ण परतों को मापने में मदद करने के लिए डिज़ाइन किया गया है।
इनविज़िक्स की प्रणाली हाई हार्मोनिक जेनरेशन (एचएचजी) का उपयोग करके मौजूदा माप उपकरणों से परे देखती है, जो भौतिकी में 2023 नोबेल पुरस्कार द्वारा मान्यता प्राप्त खोजों में निहित एक प्रक्रिया है। एचएचजी नोबल-गैस परमाणुओं को उच्च-ऊर्जा अवस्था में उत्तेजित करने के लिए एक शॉर्ट-स्पंदित ड्राइव लेजर का उपयोग करता है। इस अवस्था में, परमाणु कई रंगों में लघु-तरंगदैर्ध्य प्रकाश उत्सर्जित करते हैं, जिसे नरम एक्स-रे के रूप में जाना जाता है, जो विशिष्ट एकल-तरंगदैर्ध्य लेजर की तुलना में अधिक समृद्ध 3डी सिग्नल उत्पन्न करता है।
इनविज़िक्स की प्रणाली उपकरणों की विस्तृत 3डी आंतरिक संरचना का पुनर्निर्माण करने के लिए एचएचजी को मालिकाना पुनर्निर्माण एल्गोरिदम और मशीन लर्निंग के साथ जोड़ती है। यह महत्वपूर्ण रूप से इसे गैर-विनाशकारी तरीके से प्राप्त करता है, और पूरे सिस्टम की वास्तुकला को उच्च-मात्रा विनिर्माण के लिए आवश्यक थ्रूपुट के पैमाने पर डिजाइन किया गया है।
इनविज़िक्स मेट्रोलॉजी पर उसी रिज़ॉल्यूशन तर्क को लागू करता है जिसने सेमीकंडक्टर लिथोग्राफी को बदल दिया। जैसे-जैसे चिप सुविधाएँ सिकुड़ती हैं, माप तरंग दैर्ध्य भी सिकुड़ना चाहिए। कंपनी दबी हुई नैनोस्केल संरचनाओं के अंदर देखने के लिए सॉफ्ट एक्स-रे का उपयोग करती है जिसे ऑप्टिकल उपकरण अब हल नहीं कर सकते हैं।
कंपनी ने एएसएमएल में किए गए सॉफ्ट एक्स-रे पर काम से एक बड़े प्रौद्योगिकी पैकेज का लाइसेंस प्राप्त किया है। संस्थापकों में एएसएमएल सॉफ्ट एक्स-रे कार्यक्रम के कई दिग्गज शामिल हैं, साथ ही सीओओ रोनाल्ड डोगे, एनटीएस के पूर्व सीओओ, एक प्रमुख डच सेमीकंडक्टर अनुबंध निर्माता सहित उद्योग के वरिष्ठ कर्मचारी भी शामिल हैं। इनविसिक्स की अनुसंधान वंशावली लुंड विश्वविद्यालय के प्रोफेसर ऐनी एल’हुइलियर के साथ लंबे समय से चले आ रहे सहयोग तक फैली हुई है, जिन्हें एचएचजी के पीछे भौतिकी पर उनके मूलभूत कार्य के लिए नोबेल पुरस्कार से सम्मानित किया गया था।
इनविज़िक्स टीम पहले से ही सार्वजनिक रूप से प्रदर्शन किया 2023 में इसकी तकनीक, इंटेल और imec के सहयोग से परिणामों का खुलासा करेगी। उन्होंने अगली पीढ़ी के गेट-ऑल-अराउंड ट्रांजिस्टर आर्किटेक्चर में प्रमुख विशेषताओं को सफलतापूर्वक मापा, जो मौजूदा मेट्रोलॉजी के लिए सबसे चुनौतीपूर्ण लक्ष्यों में से एक है। कंपनी ने हाल ही में अपने 300 मिमी-वेफर-सक्षम सॉफ्ट एक्स-रे टेस्टबेंच को आइंडहोवन में एक नए क्लीनरूम में स्थानांतरित कर दिया है, जहां ग्राहक फैब में तैनाती के लिए अपने पहले शिपेबल उत्पाद के विकास के समानांतर ग्राहक प्रदर्शन जारी रहेगा।
क्रिस्टीना पोर्टर, पीएचडी, इनविसिक्स के सह-संस्थापक और सीईओ, ने कहा: “सेमीकंडक्टर निर्माता वह नहीं बना सकते जो वे नहीं देख सकते। जैसे-जैसे चिप्स अधिक 3 डी बन जाते हैं, उद्योग को मेट्रोलॉजी उपकरणों की एक नई पीढ़ी की आवश्यकता होती है जो इन अविश्वसनीय रूप से जटिल लघु गगनचुंबी इमारतों को नष्ट किए बिना देख सकें। हम उस तकनीक के साथ बाजार में प्रवेश कर रहे हैं जो एक दशक से अधिक समय से एएसएमएल के अंदर विकसित की गई है – तकनीकी डी-जोखिम का एक स्तर जो एक बीज-चरण हार्डवेयर कंपनी के लिए असामान्य है और हमारे ग्राहकों को देता है तैनाती का तेज़ रास्ता।”
हिताची वेंचर्स के पार्टनर और मुख्य निवेश अधिकारी वोल्फगैंग सीबोल्ड ने कहा: “जैसे-जैसे सेमीकंडक्टर आर्किटेक्चर अधिक त्रि-आयामी विकसित होते हैं, मेट्रोलॉजी तेजी से सेमीकंडक्टर उपज और रैंप गति को सीमित करती है, प्रत्येक नई नोड पीढ़ी चुनौती को तेज करती है। इनविसिक्स एक दशक के एएसएमएल विकास, अग्रणी उद्योग भागीदारों के साथ सिद्ध परिणामों और उच्च मात्रा में विनिर्माण के लिए डिज़ाइन किए गए सिस्टम आर्किटेक्चर द्वारा समर्थित प्रौद्योगिकी मंच के साथ इससे निपटता है। हम टीम का समर्थन करने के लिए उत्साहित हैं क्योंकि वे इस क्षमता को बाजार में लाते हैं।”
