इमेजिंग विधि टीएसएमसी और एएसएम के सहयोग का परिणाम थी और अनुसंधान को टीएसएमसी द्वारा वित्त पोषित किया गया था
सेमीकंडक्टर उद्योग के लिए छोटे दोष लंबे समय से एक चुनौती रहे हैं। गेम-चेंजर इलेक्ट्रॉन पाइथोग्राफी है, एक कम्प्यूटेशनल इमेजिंग विधि जिसमें एक इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप पिक्सेल ऐरे डिटेक्टर (ईएमपीएडी) का उपयोग ट्रांजिस्टर से गुजरने के बाद इलेक्ट्रॉनों के विस्तृत बिखरने वाले पैटर्न को इकट्ठा करने के लिए किया जाता है।
ये पैटर्न एक स्कैन स्थिति से दूसरे में कैसे बदलते हैं, इसकी तुलना करके, वैज्ञानिक असाधारण स्पष्टता के साथ एक छवि का पुनर्निर्माण कर सकते हैं। डिटेक्टर इतना सटीक है कि इसने दुनिया में सबसे अधिक रिज़ॉल्यूशन वाली छवियां सक्षम की हैं।
एक बार जब डेटा एकत्र किया गया और पुनर्निर्माण किया गया, और परमाणुओं की स्थिति को ट्रैक किया गया, तो शोधकर्ता चैनलों में इंटरफ़ेस खुरदरापन का पता लगाने में सक्षम थे।
खुरदरापन उन दोषों से उत्पन्न हुआ जो अनुकूलित विकास प्रक्रिया के दौरान बने थे। नैनोइलेक्ट्रॉनिक्स हब इमेक में विकसित नमूना संरचनाएं, इमेजिंग विधि का परीक्षण करने का आदर्श तरीका थीं।
शोधकर्ता शेक कारपेटियन कहते हैं, “आधुनिक उपकरणों के निर्माण में रासायनिक नक़्क़ाशी और जमाव और हीटिंग के सैकड़ों, यदि हजारों नहीं, चरण लगते हैं, और फिर हर एक कदम आपकी संरचना के लिए कुछ करता है,” पहले, आप यह पता लगाने की कोशिश करने के लिए प्रक्षेप्य छवियों को देखते थे कि वास्तव में क्या हो रहा है। अब आपके पास हर एक कदम के बाद वास्तव में देखने के लिए एक सीधी जांच है।
