यह प्रगति उस दर को दोगुना करके प्राप्त की गई है जिस पर EUV मशीन में पिघले हुए टिन की बूंदें CO₂ लेजर बीम के संपर्क में आने से प्लाज्मा बनता है जो EUV विकिरण उत्सर्जित करता है।
बूंद की दर को दोगुना करके 100,000 प्रति सेकंड और एकल पल्स के बजाय दो-पल्स लेजर आकार देने के दृष्टिकोण का उपयोग करके, प्रकाश स्रोत को 600W से 1000W तक बढ़ाया गया था।
“यह कोई पार्लर ट्रिक या ऐसा कुछ नहीं है, जहां हम बहुत कम समय के लिए प्रदर्शित करते हैं कि यह काम कर सकता है,” एएसएमएल के ईयूवी सोर्स लाइट के प्रमुख टेक्नोलॉजिस्ट माइकल पुर्विस ने रॉयटर्स को बताया, “यह प्रणाली है जो सभी समान आवश्यकताओं के तहत 1,000 वाट का उत्पादन कर सकती है जो आप एक ग्राहक पर देख सकते हैं।”
ASMl 1500W और फिर 2000W तक का मार्ग देखता है।
कंपनी ने पिछले साल 380-400 मिलियन डॉलर की आठ उच्च-एनए मशीनें भेजीं, और 2027/8 तक उत्पादन को बढ़ाकर 20 प्रति वर्ष करने का इरादा है।
