विशेष रूप से, मेटल-ऑक्साइड फोटोरिस्टिस्ट (एमओआर) की बेहतर खुराक प्रतिक्रिया तब हासिल की गई है जब ईयूवी पोस्ट-एक्सपोजर बेक चरण ऊंचे ऑक्सीजन सांद्रता के तहत किया जाता है।
धातु-ऑक्साइड प्रतिरोध (एमओआर) उन्नत ईयूवी लिथोग्राफी अनुप्रयोगों के लिए अग्रणी उम्मीदवार के रूप में उभरे हैं, जो रासायनिक रूप से प्रवर्धित प्रतिरोध (सीएआर) की तुलना में बेहतर रिज़ॉल्यूशन, कम लाइन-एज खुरदरापन और अच्छा ईयूवी खुराक-से-आकार प्रदर्शन प्रदान करते हैं।
छोटी विशेषताओं और पतली प्रतिरोधी फिल्मों के लिए उनकी बेहतर पैटर्न स्थानांतरण क्षमता उन्हें उच्च एनए ईयूवी लिथोग्राफी का उपयोग करके उजागर की गई उच्चतम रिज़ॉल्यूशन धातु परतों के लिए विशेष रूप से आकर्षक बनाती है।
इमेक अब प्रदर्शित करता है कि ईयूवी लिथोग्राफी पोस्ट-एक्सपोजर बेक चरण के दौरान वायुमंडलीय स्तर से ऊपर ऑक्सीजन एकाग्रता को बढ़ाकर एमओआर की खुराक प्रतिक्रिया में और सुधार किया जा सकता है – ईयूवी एक्सपोजर का विरोध करने के बाद और विकास का विरोध करने से पहले एक महत्वपूर्ण गर्मी उपचार कदम।
इमेक के इवान पोलेंटियर कहते हैं, ”पोस्ट-एक्सपोज़र बेक के दौरान वायुमंडलीय से ऑक्सीजन सांद्रता को 21% से 50% तक बढ़ाने पर हम 15-20% तेज फोटो-गति देखते हैं, ” मॉडल एमओआर और वाणिज्यिक एमओआर सामग्री दोनों के लिए प्रवृत्ति देखी गई है। यह खोज पहली बार दिखाती है कि प्रमुख लिथोग्राफी चरणों के दौरान गैस संरचना को सावधानीपूर्वक नियंत्रित करने से आवश्यक ईयूवी एक्सपोज़र खुराक में काफी कटौती हो सकती है, सीधे ईयूवी स्कैनर के थ्रूपुट को बढ़ावा मिल सकता है और प्रक्रिया लागत कम हो सकती है। यह सिर्फ पहला परिणाम है। BEFORCE उपकरण: नियंत्रित गैस संरचना एमओआर सामग्रियों की लिथोग्राफिक परिवर्तनशीलता पर पर्यावरणीय प्रभावों की उत्पत्ति का अध्ययन करने के लिए एक अतिरिक्त घुंडी प्रदान करती है। उपकरण निर्माता बेहतर ईयूवी लिथोग्राफी थ्रूपुट और स्थिरता के लिए अपने उपकरणों को अनुकूलित करने के लिए एक दिशानिर्देश के रूप में इन अंतर्दृष्टि का उपयोग कर सकते हैं।
महत्वपूर्ण आयाम (सीडी) स्थिरता और एमओआर के प्रदर्शन पर परिवेशीय वातावरण की भूमिका की जांच करने के लिए imec द्वारा विकसित एक अद्वितीय शोध उपकरण BEFORCE का उपयोग करके परिणाम प्राप्त किए गए थे।
इमेक के केविन डॉर्नी कहते हैं, “वाणिज्यिक ईयूवी क्लस्टर में, प्रतिरोध-लेपित वेफर्स को वैक्यूम में उजागर किया जाता है और फिर पोस्ट-एक्सपोज़र बेक यूनिट में स्थानांतरित किया जाता है, जहां उन्हें वायुमंडलीय परिस्थितियों में गर्म किया जाता है।” एमओआर की खुराक प्रतिक्रिया को बढ़ाने में ऑक्सीजन की भूमिका का खुलासा।”
एमओआर प्रदर्शन पर गैस संरचनाओं के सकारात्मक प्रभाव का बेहतर ढंग से दोहन करने के लिए, प्रतिरोध के पोस्ट-एक्सपोज़र बेक के दौरान रासायनिक तंत्र की अधिक मौलिक समझ आवश्यक है।
अलग-अलग पर्यावरणीय परिस्थितियों में – एक एकीकृत फूरियर ट्रांसफॉर्म इंफ्रारेड स्पेक्ट्रोमीटर द्वारा कैप्चर किए गए – बेक के दौरान रासायनिक परिवर्तनों के अवलोकन के लिए एमओआर प्रदर्शन को सहसंबंधित करने के लिए प्रयोग जारी हैं।
उन्नत मेट्रोलॉजी क्षमताओं के साथ BEFORCE टूल का नियोजित विस्तार imec को और भी अधिक प्रभावशाली परिणाम देने में सक्षम करेगा।
BEFORCE का उपयोग MOR और CAR दोनों प्रतिरोधों का अध्ययन करने के लिए अधिक व्यापक रूप से किया जा सकता है और प्रतिरोध मूल्यांकन के लिए imec के भागीदारों के लिए सुलभ है।
प्रस्तुत उपलब्धियाँ और प्रारंभिक मौलिक अंतर्दृष्टि 2026 एसपीआईई एडवांस्ड लिथोग्राफी + पैटर्निंग सम्मेलन में दो पेपरों में साझा की गई हैं:
- पेपर 13983-36 – ‘पोस्ट एक्सपोज़र बेक के वायुमंडलीय वातावरण द्वारा धातु ऑक्साइड प्रतिरोध के लिए एक नई खुराक में कमी की रणनीति को उजागर करना,’ आई. पोलेंटियर एट अल।
- पेपर 13983-50 – ‘एमओआर प्रतिरोधों के लिथोग्राफिक रसायन विज्ञान में पर्यावरणीय संशोधनों की रासायनिक उत्पत्ति,’ के. डॉर्नी एट अल।
